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高真空排氣系統

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: 高真空排氣系統
產品型號: TPS-220ZC
產品廠商: 巖瀨商事
產品品牌: PHIL佐藤
產品文檔: 無相關文檔

高真空排氣系統  的詳細介紹

PHIL佐藤 高真空排氣系統 TPS-220ZC

特點
適用于高真空條件下的各種實驗、開發和生產過程。
風冷系統無需水管，減輕了維護負擔。
100 V 電源，可在任何地點使用。
鋁制主框架和底座，重量輕。
設計緊湊，使用方便。
渦輪分子泵排氣系統 <TPS> 類型
通過將輔助泵與隔膜式干式真空泵或渦旋式干式真空泵相結合，可實現全干式抽氣系統。
啟動和關閉時間短。
渦輪分子泵的結構具有很強的抗意外引入大氣的能力。
(注：反復有意引入大氣可能會導致故障。
機油擴散泵排氣系統 <DPS> 型
可以較低成本獲得高真空氣氛。
通過三通閥切換功能，只需一臺輔助泵即可獨立運行。
易于維護和檢查。
<TPS>類型

型　　式 TPS-50ZA TPS-50ZB TPS-50ZC TPS-220ZA TPA-220ZB TPS-220ZC
ターボ分子ポンプ 50L/s 220L/s
補助ポンプ DW-60 USW-50N MZ-2CNT DW-120 USW-100N ISP-250C
到達圧力 ×10-5Pa*1 ×10-3Pa*1 ×10-5Pa*1 ×10-4Pa*1
起動/停止時間 3/3min*2 2.2/3.5min*2
吸気口徑 VG-65 VG-100
所要電力（AC） 100V 15A
質量 約51kg 約55kg 約45kg 約56kg 約59kg 約70kg
外形寸法
(W×D×Hmm) 		600×400×700 600×400×750 600×400×700 600×400×730 600×400×800 600×400×850

<DPS類型

型　　式 DPS-2-ZA DPS-2-ZB DPS-3-ZA DPS-3-ZB DPS-4-ZA DPS-4-ZB
油拡散ポンプ 58L/s 150L/s 215L/s
補助ポンプ DW-60 USW-50N DW-120 USW-100N DW-120 USW-150N
到達圧力 ×10-4Pa*3
起動時間 17min*2 22min*2
吸気口徑 VF-50 VF-80 VF-100
所要電力（AC） 100V 15A 100V 15A×2*4
質量 約57kg 約60kg 約68kg 約70kg 約70kg 約80kg
外形寸法
(W×D×Hmm) 		600×400×935 600×400×995 600×400×1095 600×400×1030 600×400×1130
＊ 1: 渦輪分子泵烘烤和脫氣后泵頭上的數值。
啟動時間是在進氣口關閉的情況下測量的。 時間取決于腔室容量。
3 進氣口關閉時的數值。
輔助泵和主泵配有獨立的電源插頭。
還可提供定制版本，其中包含各種可選組件，以滿足客戶的可用性和規格要求。
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